本报讯（记者 刘宇鑫）市民日子中离不开的手机上，都有一块小小的集成电路芯片。芯片上面各式各样的纹理，便是由刻蚀机刻出来的。记者日前从北京电控了解到，由其部属公司北方微电子公司自主研制的12英寸28纳米等离子硅刻蚀机，现已全面经过工艺验证。我国集成电路高端配备进一步加快了追逐世界水平的脚步，技术水平现已从2003年的“20年距离”缩短到“只差3年”。

  28纳米，相当于人体一根头发的万分之一粗细。出产一块手机运用的电子芯片，一般要18种机器设备、累计400多道工序，而刻蚀机便是这儿面的重要设备之一。

  上一年年底，北方微电子公司自主研制的这款12英寸28纳米等离子硅刻蚀机，全面经过中芯世界出产线全流程工艺验证，并获得客户订单，标志着我国集成电路高端配备国产化获得新的打破。

  在北方微电子公司打破28纳米刻蚀技术前，世界上也仅美国和日本各有一家公司可提供满意28纳米出产线的老练设备。长期以来，高端刻蚀设备一直是限制我国集成电路工业高质量开展的瓶颈，因而，北方微电子将28纳米硅刻蚀设备推向市场，标志着我国在高端集成电路配备范畴，第一次完成与干流出产线的需求同步。